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香港城市大学Joshua En-Yuan Lee做客我校电子论坛

文：隆丽萍图：隆丽萍来源：电子学院时间：2018-12-07 4188

　　12月3日上午，射频微机电系统领域国际知名专家、香港城市大学副教授Joshua En-Yuan Lee受邀做客电子论坛，为我校师生作题为“Piezoelectric Aluminium Nitride Microsystems for Timing and Sensing”的专题讲座。

　　报告主要分为四个部分。他首先介绍了MEMS谐振器品质因数提升的一系列方法，包括边缘凸起、一维和二维声子晶体结构等，然后阐述了这些方法背后的物理机理；其次，介绍了MEMS谐振器在射频振荡器方面的应用，展示了将MEMS谐振器与CMOS振荡电路相集成的低相位噪声振荡器；在生物传感应用方面，传统的谐振器在液态环境下品质因数通常低于100，而报告提出的方块型酒杯状谐振器可以达到目前领域最高的Q值（377）；最后，展示了利用MEMS谐振器在洛伦磁力计和非接触式传感器上的应用。

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