学　术

教师发展中心“学术沙龙”活动特别邀请中国科学院宁波材料技术与工程研究所张文瑞研究员来校作学术交流。具体安排如下，欢迎广大师生参加。

一、主　题：宽禁带氧化镓半导体外延、输运调控与电子器件研究

　　二、主讲人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所 张文瑞研究员

　　三、时　间：2023年10月18日10:00

　　四、地　点：清水河校区4号科研楼物理学院506会议室

　　五、主持人：物理学院 乔梁 教授

　　六、内容简介：

　　以氧化镓为代表的宽禁带氧化物半导体在新一代信息技术领域具有广阔的应用前景。高质量氧化镓薄膜外延与输运调控是制备高性能电子器件的基础。然而，由于复杂晶相特性，氧化镓薄膜外延常伴随不同晶体取向与杂质晶相的产生，严重制约了性能提升与器件应用。针对以上问题，我们系统研究了氧化镓薄膜的晶相调控、组分调控和输运行为，并探索了不同晶相分别在功率电子器件和深紫外光电探测器件中的差异化应用。通过协同生长工艺、衬底取向与微量掺杂，调控了氧化镓薄膜的结晶路径与生长行为，实现了β-，α-和ε-氧化镓晶相的高质量外延生长。在薄膜外延基础上，研究了基于氧化镓薄膜的掺杂机理和电导调控行为，实现了超过10个数量级的薄膜电导调控，应用于高性能氧化镓功率二极管的设计与制备。最后，研究了氧化镓薄膜的缺陷分布特性对光生载流子输运的影响，发展了调控载流子空间分布与定向迁移的有效方法，提出了制备高性能深紫外光电探测器的设计思路。

　　七、主讲人简介：

　　张文瑞，中国科学院宁波材料所研究员，博士生导师，国家青年人才。2015年获得美国德州农工大学材料科学与工程博士学位，随后分别在美国布鲁克海文国家实验室和橡树岭国家实验室从事博士后研究，2020年加入中科院宁波材料所工作。研究聚焦功能氧化物薄膜的精准制备与载流子输运调控，以推动氧化物半导体在信息能源领域的发展与应用。近年来着力提升氧化镓等宽禁带半导体薄膜的外延技术和载流子输运调控能力，实现了氧化镓薄膜的晶相调控、高效掺杂和高性能整流结设计，用于研发新一代功率电子器件与深紫外光电探测器件。已承担国家自然科学基金、浙江省自然科学基金和宁波市科技创新团队等项目，在Adv. Funct. Mater., ACS Nano, ACS Energy Lett., IEEE EDL和Appl. Phys. Lett.等学术期刊上发表论文90余篇，其中第一及通讯作者论文20余篇，论文被引3900余次，H指数34，申请/授权发明专利10余项。

　　八、主办单位：教师发展中心

　　　　承办单位：物理学院